四探針電阻率測試儀四探針電阻率儀方阻測試儀方阻儀四探針電阻率測定儀
四探針電阻率/方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機(jī)）、測試架及四探針頭組成。

產(chǎn)品型號：TC-KDY-1

更新時(shí)間：2024-02-05

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監(jiān)測儀高斯計(jì) 回彈儀數(shù)顯拉開法附著力測試儀電動(dòng)倒角器磨音測量儀罐底焊縫真空檢測盒全自動(dòng)氧彈熱量計(jì)/量熱儀汽油辛烷值柴油十六烷值測定儀水分儀其他常用儀器電阻測試儀玻璃瓶抗沖擊試驗(yàn)機(jī) 混凝土抗壓強(qiáng)度檢測儀拉脫儀便攜式渦流導(dǎo)電儀元素分析儀測厚儀炭黑含量測試儀色度/色差儀萬能試驗(yàn)機(jī) 光澤度儀熱膨脹系數(shù)測定儀數(shù)顯玻璃應(yīng)力儀多功能特斯拉計(jì) 磁導(dǎo)率測量儀超聲波強(qiáng)度測量儀紅外測溫儀微機(jī)差熱天平罐底耐壓檢測儀

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四探針電阻率測試儀型號：KDY-1

四探針電阻率測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機(jī)）、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時(shí)掌控測量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān)，在測量某些箔層材料時(shí)，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)箔膜。“小游移四探針頭"，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器，測量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的Z大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測量帶來很大方便。
2、主機(jī)技術(shù)能數(shù)
（1）測量范圍：
可測電阻率：0.0001～19000Ω•cm
可測方塊電阻：0.001～1900Ω•□
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流精度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
輸出電源：≥1000ΩM
（4）供電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W
（5）使用環(huán)境：
溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%
無較強(qiáng)的電場干擾，無強(qiáng)光直接照射
（6）重量、體積：
主機(jī)重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×高度）

備注：
等級測量時(shí)（測電阻率），精度<3%
電氣測量時(shí)（測電阻），精度在0.3%以內(nèi)